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技术案例二:50GHz 高频与 5.4 万针极限密度——Semiroc 攻克 AI 混合信号芯片测试难题

技术能力
06/07/2026
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行业趋势:高频与高功率成为先进封装的“双重压迫”

在 2026 年的 AI 与高性能计算(HPC)浪潮下,集成电路已不再仅仅追求物理尺寸的微缩,而是向着更高频、更高功率的混合信号(Mixed-Signal)架构演进。当信号速率飙升至 50GHz 级别,且单芯片引脚密度呈现指数级爆发时,测试接口(Test Interface)往往面临电磁完整性与机械应力的双重极限考验。无论芯片设计多么完美,若无法在量产点测中提供稳定、一致的测试环境,高昂的量产良率便无从谈起。



项目背景与核心挑战

本项目针对客户的一款高端 AI / 混合信号芯片 开展晶圆级垂直探针测试,量产基于 Teradyne UltraFLEXplus (UF+) 测试平台。

虽然本项目为 Dual Site(2位并测) 布局,但其设计复杂度与制造难度堪称行业“天花板”:

  • 50GHz 超高频信号传输: 50GHz 频段下的信号衰减、串扰(Crosstalk)极其严重,要求接口网络具备近乎苛刻的多阻抗匹配(涵盖 50Ω/80Ω/90Ω/100Ω)。
  • 54,000+ 根惊人引脚密度: 单 Site 针数高达 27,367 根,总针数突破 54,000 根。超大规模的探针集成,对整体下压力的均匀性、平整度(Coplanarity)以及热管理提出了巨大挑战。
  • 高密度大电流 PI 危机: 单 Site 承载多达 60 组独立电源轨(Power Rails)。处于持续高密度电流状态下的 PDN(电源分配网络)极易发生退化,引发严重的接触不稳定性风险。

Blue printed circuit board layout with labeled components, routing traces, and memory arrays.

图 1: 先进多芯片集成平台概念图。
(注:本示意图仅用于展示多裸片异构集成逻辑与信号通路的架构概念。图中引脚分布、布线层级及各功能模块比例均已进行脱敏与抽象处理,不代表实际量产产品的物理布局或具体技术指标。)

我们的解决方案

1. 极致工艺突破:68层 M6 PCB 与 10+16+10 MLO 架构

为了在极度拥挤的空间内平稳消化 60 组电源轨以及超过 1,300 条高速信号线,Semiroc 成功挑战了工艺极限,采用 68层 M6 高 Tg PCB,配合 10+16+10 MLO 纵向堆叠结构。

  • 多层屏蔽与无损传输: 68层板材设计提供了完美的层间屏蔽,配合 10+16+10 MLO 基板,在极短的物理路径内完成了复杂的信号转接,将 50GHz 信号的内部插损与寄生效应降至最低。
  • 精准阻抗控制: 通过优化过孔几何外形,将多流复合阻抗精度严格控制在 ±7% 以内。

Technical diagram of a multilayer PCB with ultra-dense routing, copper traces, and stacked micro-vias.

图 2:Semiroc 68层 M6 极高层数 PCB 与 10+16+10 MLO 纵向堆叠架构示意图。

该图展示了在极小物理空间内实现高性能多层转接的架构逻辑,通过高密度微孔(Micro-vias)与层间精密布线,满足 50GHz 高频信号的高效传输要求。
(注:特殊工艺及层堆叠参数已进行脱敏处理,仅供架构逻辑与布线通路示意。)


2. 独创布线路由解决PDN Congestion

在传统的布线逻辑中,成千上万根高流探针会迅速占满金属平面,引发严重的电源网络拥堵。

  • 全盲埋孔协同设计: Semiroc 引入了极其复杂的 盘内孔(Via-in-pad)配合通孔与盲埋孔(PTH + BVH) 的多级组合拓扑技术。
  • 独立电源平面划分 (Power Plane Partitioning): 仿真团队为每个测试 Site 独立划分了物理隔离的电源平面,优化IR DROP 和 AC 阻抗,从根本上杜绝了多位并测时、突发大电流引发的电源瞬态干扰与噪声耦合。

3D thermal simulation of a circuit board in CAD software, showing heat distribution via color gradient.

图 3:50GHz 高速信号拓扑与 60 组电源轨 PDN 独立平面划分的多物理场耦合仿真分析。

该图通过热力分布与电磁场耦合分析,直观展示了在多位并测(Dual-site)模式下,通过物理分区有效抑制瞬态干扰与电源噪声耦合的设计逻辑。
(注:图中频域及电流密度云图数据为典型高频工况下的脱敏示意。)


3. 高流表面处理与针尖匹配:消除接触不稳定性

大电流探测中,针尖与焊盘的微观接触面在频繁过载下,极易发生“微电弧”烧蚀或高热氧化。

  • 高流专用表面处理 (Surface Finish): Semiroc 针对 High-current Probing 优化了材料学表面改性方案,确保接触界面具备极高的抗氧化能力和超低、稳定的接触电阻(Cres)。
  • 精准超程管控: 结合深度 Needle Shape Matching(针尖几何匹配) 设计与精密的超程控制,有效抑止了测试过程中的微观接触不稳定(Contact Instability),不仅保护了高价值的客户焊盘,更大幅拉长了探针卡的维护周期。

Infographic comparing traditional vs optimized MEMS probing for testing, highlighting wear and contact stability.

图 3:大电流探测表面处理优化与微观触点接触电阻稳定性(Stable Cres)对比。

左侧展示传统方案在频繁过载下的烧蚀风险,右侧呈现专用材料改性后的零磨损接触效果,通过针尖几何匹配与表面处理,实现了测试循环内的长效稳定性。
(注:图中测试对比曲线之数值变量为典型值占位符,实际指标受客户 NDA 保护。)


为什么选择 SEMIROC?

在 AI 和高性能计算领域,50GHz 的频率和大电流稳定性是决定量产良率的两座大山。通过本项目的成功交付,Semiroc 再次向市场证明:无论您的芯片功耗多高、信号多快,我们都能提供极其稳定且一致的测试环境。

  • 高频大电流实战专家: 全球极少数能够同时驾驭 50GHz 高频、60路电源轨、5.4万根极限针数 的全功能测试接口供应商。
  • 闭环工程底蕴: 完美适配 Teradyne UF+ 等顶级 ATE 平台,拥有从物理层设计、多维仿真到半导体级精密制造的闭环供应链。
  • 质量与良率的守护者: 我们解决的不仅是 PDN 拥堵和信号衰减,更是为客户守住量产红线的最后一道关卡。
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技术案例一:攻克 Chiplet 时代的并行测试极限 —— 120位超大规模垂直探测方案
技术案例三:高密度多Site并测的电源完整性设计——当"并测数量"取代"单点电流",成为电源设计的第一变量
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