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技术案例一:攻克 Chiplet 时代的并行测试极限 —— 120位超大规模垂直探测方案

技术能力
07/05/2026
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行业趋势:并测效率成为先进封装的“胜负手”

在 2026 年的半导体格局下,Chiplet(芯粒) 技术与 HPC(高性能计算) 芯片的量产效率直接取决于测试环节。随着芯片尺寸增大和引脚密度提升,测试成本(CoT)已成为核心挑战。业界急需一种能够支撑超大规模并测、且在宽温环境下保持极致稳定的接口方案。



项目背景与核心挑战

本项目针对客户的一款高端 AI ASIC 芯片 开展晶圆级测试。该芯片具有极高的引脚计数,并基于 Teradyne UltraFLEXplus (UF+) 顶级测试平台进行量产。

  • 超大规模并行度: 实现超过 120位 (120+ sites) 的同步并测,全板集成超过 20,000 根高性能垂直探针。
  • 大面积探测 (Large-Area Probing): 面对单颗超过 100mm 的大尺寸器件(DUT),解决机械压力分布与接触一致性难题。
  • 极端宽温环境: 要求在 -40°C 至 +150°C 范围内,材料热膨胀系数(CTE)完美匹配。

A futuristic blue circuit board schematic with hexagonal patterns, grids, and modular components.

项目一:高性能计算芯片探测路径逻辑抽象图

(已进行脱敏处理)

我们的解决方案


1. 极限工艺:50层 PCB 与先进 MLO 架构

我们采用了行业领先的 50层高 Tg PCB,配合 5+2+5 MLO(多层陶瓷) 堆叠结构。通过 High-density Via-in-pad(盘内孔) 技术,我们在极其有限的空间内实现了数万路信号的精准路由,并将阻抗波动严格控制在 50Ω ±5%。

Technical diagram of 50-layer PCB with advanced MLO architecture, highlighting dense layers, micro-vias, and thermal manage

图 1: Semiroc 50层超高密度 PCB 与集成 MLO 基板架构横截面示意图。

(注:工艺参数已进行脱敏处理,仅供架构逻辑示意)

2. 多物理场仿真与应力管控

利用深度 Multi-physics Simulation(多物理场仿真),我们对 PCB 进行了铜平衡优化 (Copper Balance Optimization)。这成功抑制了由于温差导致的板材翘曲(Warpage),确保了外围点位探测的零失误。

3D multi-physics simulation of thermal, mechanical, and electrical coupling in chip packaging.

图 2: 宽温环境下(-40°C 至 +150°C)垂直探测方案的 SI/PI/热/力多物理场耦合仿真分析。

(注:图中热力云图数据为典型工况下的脱敏示意)

3. 协同设计提升探针寿命

我们提供深度 Co-design 协同服务:

  • 针尖匹配: 针对客户的微小焊盘进行 Needle Shape Matching 设计。
  • 降本增效: 精密的 Overdrive Control(超程控制) 在保证超低接触电阻的同时,显著减少了焊盘损耗,延长了探针卡的使用寿命,为客户大幅降低了整体测试成本。

Technical diagram comparing traditional vs. co-design optimized MEMS vertical probes for semiconductor testing.

图 3: 协同设计(Co-Design)对探针扎针轨迹与焊盘磨损的微观优化对比。

(注:图中变量“X”为典型值脱敏占位符,实际性能指标受具体测试协议 NDA 保护)

为什么选择我们?

  • 实战验证: 全球少数具备 120位以上超高并测 方案交付能力的供应商。
  • 系统化工程能力: 适配 Teradyne UF+ 等主流 ATE 平台,提供从仿真到制造的闭环支持。
  • 良率赋能: 我们不仅提供接口,更致力于通过极致的 SI/PI 设计提升高价值芯片的量产通过率。
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